簡易檢索 / 檢索結果

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    基於有限影像集量測一維週期性特徵尺寸
    • 自動化及控制研究所 /111/ 碩士
    • 研究生: 林耘頡 指導教授: 郭鴻飛
    • 半導體製程技術的進步促使元件結構的微縮,除了對製程技術迎來更大的挑戰,同時也需要更有效率的量測方法來驗證製程結果。關鍵尺寸(Critical dimension)量測技術是驗證製程標準的關鍵步驟。傳…
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